ION IMPLANTATION

1H

10 - 40

³¹P

10 - 45

⁸⁰Se

5 - 20

²H

20 - 40

³⁵CI

8 - 33

^79,81Br

10 - 30

⁴He

0,1 - 2,0

³⁹K

0,2

⁹³Nb

1,2 - 1,5

⁷Li

1,7 - 2,4

⁴⁸Ti

5 - 10

^105,106Pd

0,6 - 0,9

⁹Be

4,5 - 6,2

⁵²Cr

2 - 8

¹⁰⁷Ag

4,0 - 6,0

¹¹Be

2,0 - 4,0

⁵⁸Fe

2 - 4

^112,113,114Cd

0,1 - 0,2

¹²C

40 - 80

⁵⁸Ni

20 - 35

¹¹⁵In

0,3 - 0,5

¹⁴N

1,0 - 15

⁵⁹Co

0,4 - 10

¹²⁰Sn

2,0 - 7,0

¹⁶O

40 - 140

⁵³Cu

5,0 - 25

^121,123Sb

0,8 - 1,4

¹⁹F

20 - 35

⁶⁴Zn

0,5 - 1,0

¹²⁷I

20 - 50

²⁷AI

0,6 - 2,0

⁷⁴Ge

5 - 13

^166,167,168Er

0,9

²⁸Si

50 - 130

⁷⁵As

9 - 20

^195,196Pt

25 - 30

¹⁶⁷Au

60 - 75